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    微型動態(tài)壓力傳感器:技術(shù)特點及其性能優(yōu)勢有哪些?

    來源:南京愛爾傳感 發(fā)布時間:2020-05-08 14:01 瀏覽量:

      微型動態(tài)壓力傳感器廣泛應(yīng)用于介質(zhì)壓力微弱的場合測量與控制,因為它具有良好的防潮能力及優(yōu)異的介質(zhì)兼容性,這只是它的性能特點之一,它還有更多優(yōu)勢被人們所喜愛,那么到底是什么優(yōu)勢呢?下面,小編就為大家簡單介紹一下。
     


     

    微型動態(tài)壓力傳感器的技術(shù)特點:

      1.小體積是其區(qū)別于一般工業(yè)、民用壓力傳感器的一個特點。這是由它的應(yīng)用場合決定的特性,在模型試驗、流場壓力測量、風(fēng)洞實驗、爆破、水利縮模實驗等應(yīng)用中,必須采用盡可能小的安裝尺寸和外形,通用的隔膜壓力傳感器,如電容式、充油的隔膜壓阻傳感器因其探頭尺寸最小也在25mm左右,長度60mm,這樣的尺寸對于上述應(yīng)用已無法滿足。

      目前實驗中常用的硅壓阻式微型壓力傳感器,因其敏感元件尺寸小,利于微型化,長寬約1.5-4mm的圓形或方形單晶硅芯片經(jīng)過真空鍵合,金絲引線焊接,再用不銹鋼外殼微型封裝,經(jīng)過溫度補償和各項指標(biāo)篩選,可以得到直徑3--8mm,長度15-30mm的微型結(jié)構(gòu)尺寸,一般采用M5--M8的安裝螺紋。是目前應(yīng)用最為普遍的微型壓力傳感器。

      2.微型壓力傳感器的動態(tài)特性:

      動態(tài)壓力傳感器目前主要有壓電式傳感器、應(yīng)變式傳感器、硅壓阻式壓力傳感器三大類,壓電式傳感器是高頻測量效果最佳的傳感器,應(yīng)變式動態(tài)響應(yīng)稍差,前兩者均不易做到5mm以下微型化,而硅壓阻式壓力傳感器動態(tài)性能好,同時容易實現(xiàn)微型化封裝,具有廣泛的應(yīng)用前景。

      硅壓阻式壓力傳感器的動態(tài)性能主要取決于其芯片的設(shè)計原理和生產(chǎn)工藝,動態(tài)壓力傳感器在芯片的設(shè)計和制造工藝上對動態(tài)指標(biāo)進行了優(yōu)化,這與普通工業(yè)用的傳感器芯片是不一樣的。

      另一方面還受其封裝方式的影響,一般根據(jù)膜片的封裝分為齊平式封裝和帶導(dǎo)壓管的封裝方式?;蛘呤菐в休^短壓腔的準(zhǔn)齊平封裝。其最高可用頻率響應(yīng)可達400KHZ, 帶有管腔的傳感器也可達到3-10KHZ左右的使用頻率范圍。

      傳感器的輸出信號再通過專用高頻信號放大器,可以輸出0-10V 0-5V 0-2.5v 等幅值的歸一化電壓信號,方便使用者采集處理。

    微型壓力傳感器的性能優(yōu)勢:

      1.穩(wěn)定性好,滿度、零位長期穩(wěn)定性可達0.25%FS/年。在補償溫度-20~80℃范圍內(nèi),溫度飄移低于0.25%FS,在整個允許工作溫度范圍內(nèi)低于0.5%FS。

      2.具有反向保護、限流保護電路,在安裝時正負(fù)極接反不會損壞變送器,異常時,變送 器會自動限流在35mA以內(nèi)。

      3.固態(tài)結(jié)構(gòu),無可動部件,高可靠性,使用壽命長, 安裝方便、結(jié)構(gòu)簡單、經(jīng)濟耐用。

      4.從風(fēng)壓到氣、水、油、蒸汽都可以進行高精度的測量,不受被測介質(zhì)質(zhì)量大小的影響。

      以上就是小編的介紹,希望對大家了解微型壓力傳感器的特點有所幫助。

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